平成24年度

授業科目					担当教員				開講期
精密加工学					平田　傑之				前期
科目番号					対象学年				必修・選択の別		単位数
610115					1年　生産工学専攻 (機械工学コース)				選択必修		2単位
授業概要 ナノテクノロジの基礎と応用について学習し、加工精度・計測精度の向上が産業の発展に及ぼす効果を検証し、最近、飛躍的に進歩しているナノオ−ダ−のマテリアルについて学習する。さらに、輪講形式のまとめかたを理解し、学生のプレゼンテ−ション能力を高めることを目標とする。 　　到達目標 　　　1. 加工の基礎を理解し、精密加工の現状を理解できること。 　　　2. 超精密加工法の基礎と加工精度の計測法を理解できること。 　　　3. 半導体集積回路製造の基本技術とフォトファブリケーションが理解できること。 　　　4. 光子エネルギービーム・電子エネルギービーム・イオンエネルギービーム・化学エネルギービーム・電気化学エネルギービーム加工法を理解できること。 　　　5. .精密加工に関する情報を調べ、適切に報告する資料の作成ができること。 　　　6. 調べた成果を、わかりやすく口頭で発表し、討論において的確に受け答えができること。
教科書 配布プリント 参考書 超精密加工の基礎と実際　　超精密加工編集委員会 [編]　日刊工業新聞社 メカトロニクス教科書シリ−ズ10　超精密加工学　　丸井悦男　著　　（コロナ社） 特殊加工　佐藤敏一著　（養賢堂） ナノテクノロジの基礎と応用　　谷口紀男　著　　（工業調査会） マイクロマシ−ニングとマイクロメカトロニクス　　江刺正喜、他　著　（培風館）
授業の進め方 第1週〜第6週は、精密加工学の基礎についての授業。第7週、9週〜第12週は、個々の学生が担当するテーマについて、予めプレゼンテ−ション資料を作成し、輪講形式で行う。第13週〜第14週は、ナノテクノロジの最近の話題を講義する。
授業内容 1 精密加工の歴史と機械加工の限界 2 超精密加工法の基礎 3 超精密加工法の基礎と計測法 4 半導体集積回路製造の基本技術、フォトファブリケーション 5 エネルギ−ビ−ム加工法の基礎（ドライ方式） 6 エネルギービ−ム加工法の基礎（ウエット方式） 7 光子エネルギ−ビ−ム加工 8 中間試験 9 電子エネルギ−ビ−ム加工 10 イオンエネルギ−ビ−ム加工 11 化学エネルギ−ビ−ム加工 12 電気化学エネルギ−ビ−ム加工 13 最近の話題（マイクロマシニング） 14 最近の話題（人工格子作製の現況） 15 期末試験
成績評価の方法 学業成績は、中間および期末試験50%、発表資料25%、プレゼンテ−ション25%、で評価する。 ただし，授業の欠席回数が1/4を越えた場合は，原則として単位を認定しない。
学生へのメッセージ ナノオーダーの加工・計測法は、物理学、化学、材料学、機械工学、電気・電子工学、制御工学等の広い分野の基礎知識の上に成り立っている。それぞれの分野の基礎的科目を理解して、習得しておく必要がある。
学習・教育目標 (生産工学)						学習・教育目標 (電子工学)			学習・教育目標 (生物応用化学)
機械工学コース			環境材料工学コース
B			B-3