| 学 科 | 電子制御工学科 | 職 名 | 教授 |
| 教員氏名 | 出口 幹雄 | 電話番号 | 0897-37-7773 |
| 読 み | デグチ ミキオ | FAX番号 | 0897-37-7763 |
| 電子メール | deguchi@ect.niihama-nct.ac.jp | ||
| 専門分野 | プラズマ工学・半導体デバイス | ||
| 現在の研究テーマ | 反応性プラズマの計測技術 プラズマの環境応用 水／セラミック電極の応用技術 |
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| 相談可能なテーマ | 電子回路応用、マイコン応用、プラズマ応用、など。 |
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| 研究内容 | 化学反応性を持つ粒子種を含むプラズマにおいても、プラズマの反応性の影響を受けることなく安定して測定をすることの可能で、かつ、複雑で高価な設備を用いることなく簡単に測定ができる、新しいプラズマ測定法について研究している。また、地球環境を悪化させる原因となる有害ガス（ＰＦＣやフロンガスなど）を、大気圧下でのアーク放電を利用して分解処理する技術について、研究を行っている。さらに、そのための放電電極として考案した“水／セラミック電極”の応用技術について研究を行っている。 | ||
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研究業績 （主要な又は最近の論文など５報以内掲載） |
・Insulated Probe Method Using Transmission Line for Monitoring Processing Plasmas M. Deguchi and R. Itatani Jpn. J. Appl. Phys. Vol.41 p.5424〜5431 (2002) ・Insulated Modulation Probe Method for Monitoring RF Plasmas M. Deguchi and R. Itatani Jpn. J. Appl. Phys. Vol.41 p.4720〜4728 (2002) ・Simple Monitoring Method for RF Plasmas by the Insulated Pulse Probe Method M. Deguchi and R. Itatani Jpn. J. Appl. Phys. Vol.41 p.4700〜4719 (2002) ・On the Effect of Film Deposition on Probe Surface in Measurement by the Insulated Pulse Probe Method M. Deguchi and R. Itatani Jpn. J. Appl. Phys. Vol.41 p.352〜361 (2002) ・A Novel and Convenient Method for Monitoring Processing Plasma: The Insulated Pulse Probe Method M. Deguchi and R. Itatani Jpn. J. Appl. Phys. Vol.37 p.970〜980 (1998) |
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| メッセージ | プラズマ関連技術に限らず、電子技術全般について、可能な限りご相談に応じさせて頂きます。 | ||